CMF5012气体质量流量表是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性气体流量测量和过程控制，独特的封装技术使得产品满足丌同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本。 CMF5012是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路（MCU）组成.集成的Δ-ΣA/D转换器和具有内部校准功能的逡辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号，并在内部进行相应的补偿算法处理，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出；友好的数字化输出通讯斱式，用户可以很斱便的得到进行通信得到相应数据信息；产品应用范围十分广阔。
产品特点：
￭ 精度高（1.5％F.S精度）
￭ 线性输出和无需温度补偿
￭ 以最小的零漂保持长期稳定性
￭ 快速响应时间（65 ms响应时间）
￭ 流速范围宽0-60m/s，抗冲击100g
￭ 固态传感核心（无表面空洞或易碎膜），抗堵塞和压力冲击
￭ 模拟输出（1-5 V）（可提供数字RS485通信输出）
￭ 能够适应于相对潮湿性气体测量
￭ 工作温度：-25°C至85°C，储存温度：-40°C至90°C，湿度：0〜100％RH
￭ 传感器可耐冷凝水
性能参数：
功能项
CMF5012系列
性能参数
单位
备注
流量范围
0-50/100/200/300/400
slpm
可定制
供电电源
8~24VDC,50mA
VDC
可选
精度
±1.5
%
FS
响应时间
65（10,20,30,50,80,100,200等）
ms
最大压力
0.8
MPa
通讯方式
RS485
Modbus
测量量程比
100:1
输出方式
模拟输出1-5V
V
温度
介质温度(-10~65)，环境温度(-25~85)
℃
接口
G1/2
防护等级
IP40
校准方式
空气，20℃, 101.325kPa
整体材质
不锈钢（铝合金可定制）
外形尺寸：
产品应用：
￭ 工业￭ 医疗￭ 石油￭ 仪器仪表￭ 燃气￭ 化工￭ 冶炼￭ 食品加工￭ 机电设备
