MFC900系列质量流量控制器是采用业界先进的高质量微机电(MEMS)流量传感器芯片,结合高速数字处理技术和工业设计所开发的一款智能化、高精度的气体流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量传感器芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点,使其可以适用于燃气、石油、化工、能源、医院等多个领域。此系列产品的量程从100SCCM到10000SCCM内可选,典型精度为1%,输出信号类型包括:4-20mA和1-5V模拟信号,以及RS485数字通信方式。
产品特点:
■ 高可靠性,高灵敏度;■ 设计紧凑,易于安装;■ 高精度及优越的零点稳定性;■ 超快的响应时间及稳定时间;■ 良好的重复性和再现性;■ 宽电压输入,多种信号输出方式;■ 配备高端进口比例电磁阀。
性能参数:
功能项
MFC900系列气体质量流量控制器
性能参数
单位
备注
规格
50,100,200,500,800,1000SCCM; 2,5,8,10,12SLPM
量程比
100:1
供电电源
7~24VDC,100mA
VDC
可定制
精度
±1.0
%FS
重复性
0.25
%
响应时间
67(默认)
ms
最大压力
1.0
MPa
通讯方式
RS485(MODBUS)
输出方式
输出0.5-4.5
LoRa
选配
显示方式
瞬时流量:SLPM; 累计流量:SL
温度
介质温度(-10~65), 环境温度(-25~85)
℃
工作湿度
<100%RH(无结冰、无凝露)
重量
0.295
kg
接口
NPT1/8”
接头
可选配
阀类型
常闭
校准条件
空气, 20℃, 101.325kPa
外形尺寸:
产品应用:
■ 工业
■ 医疗
■ 石油
■ 仪器仪表
■ 实验室
■ 燃气
■ 化工
■ 冶炼
■ 食品加工
■ 机电设备