CAFS6000系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作，适用于各种用途的清洁、相对干燥性小流量气体测量和过程控制，独特的封装技术使得产品满足不同范围的流量测量，确保高灵敏度，高可靠性，高稳定性和低成本。 CAFS6000是基于MEMS流量传感单元和高精度数字处理和标定电路（MCU）组成.集成的∆-ΣA/D转换器和具有内部校准功能的逻辑电路及MCU处理器共同保证了传感信号实时有效采集，获得精确的流量信号，并在内部进行相应的补偿算法处理，因此无需再做任何外部校准补偿，就能确保高精度的流量输出；友好的数字化输出通讯方式，用户可以很方便的得到进行通信得到相应数据信息；产品应用范围十分广阔。
产品特点：
￭ 精度高（1.5％F.S精度）￭ 线性输出和无需温度补偿￭ 以最小的零漂保持长期稳定性￭ 固态传感核心（无表面空洞或易碎膜），抗堵塞和压力冲击￭ 模拟输出（1-5 V）（也可提供I2C数字输出）￭ 快速响应时间（6ms响应时间）￭ 流量范围宽 0sccm-12000sccm￭ 能够适应于相对潮湿性气体测量
性能参数：
测试条件：Vin=12±0.1VDC，Ta=25°C。相对湿度：40％<相对湿度<60％。
最大工作温度范围-15°C至+70°C
规格
CAFS6000 系列
最小值
正常值
最大值
单位
备注
流量范围
0
—
10000
sccm
可定制规格
供电电压
8-24V
V
可定制
电流
50
mA
最大电压输出
4.96
5
5.02
线性
零点电压输出
0.98
1
1.02
精度
1.5
2
%FS
重复性
±0.3
%
分辨率
0.1
全量程
耐压
0.3
0.5
MPa
响应时间
9
65
500
ms
零点漂移
0.2
%Year
校准条件
0℃，1 标准大气压
整体材质
碳化硅，环氧树脂，PPS，硅作为密封材料
外形尺寸：
产品应用：
￭ 制氧机￭ 防毒面罩和呼吸器￭ 麻醉分娩￭ 持续气道正压通气（CPAP）设备￭ 仪器仪表￭ 检漏￭ 色谱仪￭ 质量流量控制器￭ 环境监测
