•响应速度快;
•零点稳定度高;
•低功耗、低压损;
•多种输出方式,既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可通过模拟接口输出线性的模拟量信号;
•全量程测量高稳定性、高精确度和优良的重复性:
•连接方式为螺纹,易于安装与使用。
应用领域:
产品应用范围十分广阔。 (MFC)用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:集成电路工艺设备,如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机;以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器。
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