MEMS压力传感器是传感器行业中市场规模最大的细分市场之一,具有体积小、功耗低、价格便宜等优点。随着时代的发展及人们对健康的重视度提高,电子血压计、呼吸机、制氧机、雾化器、监护仪等开始走进用户家庭,并在健康保健方面发挥着重要的作用。其中的核心器件——MEMS压力传感器,其市场应用规模极大。
在医疗器械领域,压力传感器在检测和响应身体内压力变化方面起着至关重,但在MEMS压力传感器实际设计及制造过程中,能够同时满足最优状态的设计结构和工艺较难达到。
针对MEMS压力传感器灵敏度及线性度较难兼顾的问题,Con sen sic设计了一种可应用于医疗设备、量程从-100KPA~0KPA...700KPA的CPG表压压力传感器,该传感器的性能参数如下表:
参数 | 最小 | 典型 | 最大 | 单位 | 备注 |
供电电压 | - | 5 | 10 | Vdc |
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供电电流 | - | 1 | - | mAdc |
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量程 | 10、40、100、700 | kPa |
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桥臂电阻 | 4.5 | 5 | 5.5 | kΩ |
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零偏 | -15 | 0 | +15 | mV |
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满量程 输出 | 10kPa | 18 | 23 | 28 | mV |
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40Kpa | 50 | 75 | 100 | mV |
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100Kpa/700Kpa | 80 | 100 | 120 | mV |
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非线性 | - | 0.2 | 0.5 | %FS |
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零点输出温度系数 TCO | -0.08 | -0.03 | 0.08 | %FS/℃ | 恒压模式 |
-0.08 | -0.04 | 0.08 | %FS/℃ | 恒流模式 |
满量程输出温度系数 TCS | -0.27 | -0.22 | -0.17 | %FS/℃ | 恒压模式 |
-0.05 | ±0.02 | 0.05 | %FS/℃ | 恒流模式 |
电阻温度系数 | 1500 | 2000 | 2500 | ppm/℃ |
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稳定性 | 0.2 | %FS/Y |
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压力迟滞 | - | 0.05 | 0.1 | %FS |
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过载压力 | 3× |
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工作温度 | -40 | - | 125 | ℃ |
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储存温度 | -40 | - | 150 | ℃ |
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如无特别说明,本表所有数值均在电压 5Vdc,温度 25±3℃的条件下测试 |
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CPG采用标准的SOP及DIP形式封装,方便用户采用表面贴装式进行安装,尺寸小巧,适合在狭小的空间内实现高效检测功能,响应速度快,信号输出稳定。
应用领域广泛
CPG表压型系列压力传感器除可应用医疗设备外,还可用于以下场景:
. 汽车电子领域:TPMS 传感器、MAP 传感器、机油压力测试等