我国MEMS产业的发展应当借鉴集成电路产业投资基金的相关经验，强化政府引导，积极联合各界社会资本，设立MEMS产业投资基金。

　　一方面，与大基金略有区别的是，鉴于MEMS产业处于起步阶段的发展特点，MEMS产业投资基金应该瞄准初创型项目，扶持培育中小型企业健康发展，帮助他们解决资金不足的问题，进而推动MEMS产业的发展。

　　另一方面，鼓励国内领先的MEMS本土企业并购国际上在MEMS新兴领域具有优势技术的龙头企业，帮助我国本土企业通过吸收他们的先进技术来提升在MEMS新兴领域的相关技术水平，从而提高我国本土MEMS产品的市场竞争力，实现我国MEMS产业在新兴领域的龙头地位。