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MEMS传感器
来源:百度百科 | 作者:Consensic | 发布时间: 2017-06-20 | 802 次浏览 | 分享到:


6、微机械温度传感器

微机械传感器与传统的传感器相比,具有体积小、重量轻的特点,其固有热容量仅为10J/K~10J/K,使其在温度测量方面具有传统温度传感器不可比拟的优势。我所开发了1种硅/二氧化硅双层微悬臂梁温度传感器。基于硅和二氧化硅两种材料热膨胀系数的差异,不同温度下梁的挠度不同,其形变可通过位于梁根部的压敏电桥来检测。其非线性误差为0.9%,迟滞误差为0.45%,重复性误差为1.63%,精度为1.9%。


7、其他微机械传感器

利用微机械加工技术还可以实现其他多种传感器,例如瑞士Chalmers大学的PeterE等人设计的谐振式流体密度传感器,浙江大学研制的力平衡微机械真空传感器,中科院合肥智能所研制的振梁式微机械力敏传感器等。